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光学保护膜
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光学保护膜
optical protection coating

光学保护膜叩tieal proteetion eoati飞沉积在 金属或其他软性易侵蚀材料或薄膜表面,增加其强度或 稳定性,改进其光学性能的一类光学薄膜。 常见的光学保护膜是金属镜面保护膜。金属镜面比 较软,且容易受到空气的侵蚀或氧化而降低其反射率。 在其表面镀一层电介质膜则可加以保护。常用的保护膜 材料有510、5102、AbO3等。为了保证镜面的光学 能,要求电介质膜在使用的波长范围内吸收尽量小。在 紫外区,5102、MgFZ、LIF等可作为这一波段的候选 材料。 在有些薄膜中不仅要考虑入射介质对薄膜的侵蚀, 还要考虑基体材料对薄膜的作用和增加薄膜对基体的附 着力,故需在基体和薄膜界面加涂一层底膜或过渡膜。 实际上这也是一种保护膜。它除起一般的保护作用外, 还要与被保护的材料或薄膜匹配,以改进其光学性能。 光学保护膜已用于光存储技术中。根据不同要求, 光学保护膜可增加或减少反射率,以及实现所要求的位 相变化或偏振态。保护膜不仅可以隔绝空气和基体材料 对存储材料的侵蚀,提高其稳定性、可靠性和寿命,而 且通过匹配技术,还可提高其存储性能和载噪比。在实 用的光盘体系中,无论是相变盘还是磁光盘,几乎都是 由记录介质和匹配介质的多层结构组成。磁光光盘的保 护膜可以极大地降低一些稀土元素的氧化效应,防止其 性能变差,并通过干涉增强、增大克尔旋转角。相变光 盘的保护膜不仅隔绝空气而且增加其稳定性,并可以保 证记录介质的组分在相变过程中保持不变,还可通过有 效的匹配,提高其记录灵敏度和信号对比度。用作光盘 的保护介质要竭力避免介质本身对记录材料的侵蚀,为 此常选用氮化物等稳定性较好的薄膜材料。这类材料一 般用溅射技术成膜。 除光盘保护膜外,其他如太阳能薄膜、建筑膜、光 开关膜等各种功能薄膜,都可通过光学保护膜来增强其 性能,保证其稳定性。介质保护膜不仅用于金属或半导 体表面,而且用于介质膜本身的保护。激光薄膜的保护 膜是其中的一种,可大大提高激光反射膜和增透膜的 激光损伤阑值。


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